真空紫外 ～ 软X射线光谱仪总览
McPherson可提供掠入射紫外光谱仪,C-T，S-N，正入射，平场掠入射，掠入射C-T等多种结构的光谱仪，满足不同的应用，覆盖红外 - 可见 - 紫外 - 真空紫外 - 紫外 - 软X射线全波段。
大多数光谱仪可以和Andor 真空紫外CCD相机配合使用，成为该波段的摄谱仪。
同时，McPherson提供范围为宽广的VUV - XUV 光源、真空内光学器件、真空快门、真空狭缝等等，并可组建完整的真空紫外光谱系统。
波长范围 (nm) | 分辨率 (nm) | 焦距 (mm) | 型号 | 结构 | 扫描 功能 | CCD/ MCP适配 | 成像 | 超高真空 （选项） |
30 - 2,200 | 0.1 | 200 | 234/302 | 像差矫正S-N | ● | ● |
| ● |
30 - 1,200 | 0.05 | 500 | 235 | S-N | ● | ● |
| ● |
105 - 20,000 | 0.04 | 670 | 207V | C-T | ● | ● | ● | ● |
30 - 1,200 | 0.015 | 1,000 | 225 | 自动聚焦正入射 | ● | ● | ● | ● |
30 - 1,200 | 0.025 | 1,000 | 231 | S-N | ● | ● |
| ● |
105 - 20,000 | 0.01 | 1,330 | 209V | C-T | ● | ● | ● | ● |
30 - 250 | 0.005 | 3,000 | 2253 | 自动聚焦正入射 | ● | ● | ● | ● |
30 - 250 | <0.002 | 6,650 | 265 | 离面正入射 | ● | ● | ● | ● |
<1 - 310 | 0.018 | 1,000 | 248/310 | 罗兰圆掠入射 | ● | ● |
| ● |
<1 - 80 | 0.02 | 5,650 | 251MX | 平场变栅距光栅掠入射 |
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| ● |
8 - 120 | 0.08 | 800 | OP-XCT | 离面掠入射C-T | ● | ● | ● | ● |
8 - 120 | 0.1 | 2,000 | XCT | 掠入射 C-T | ● | ● | ● | ● |
10 - 170 | 0.05 | 292 | 251 | 平场轮胎面光栅掠入射 |
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离面掠入射C-T结构光谱仪
234/302 S-N 结构光谱仪 
XUV空心阴光源
真空紫外光谱测试系统